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激光誘導擊穿光譜（Laser-induced breakdown spectroscopy, LIBS），是一種以高能激光脈沖直接聚焦于樣品表面，從而產(chǎn)生等離子體的原子發(fā)射光譜分析方法，是基于激光與物質(zhì)相互作用的一種新型光譜分析技術(shù)。該技術(shù)具有以下特點：

◇ 出眾的樣品形態(tài)兼容性

◇ 多元素同時分析

◇ 輕元素的檢測（z<12）

◇ 優(yōu)秀的空間分辨能力

● 固態(tài)樣品直接分析 快速篩查的有力手段

● 液態(tài)樣品快速相轉(zhuǎn)換富集分析 極短的樣品處理時間媲美icpoes的靈敏度

● 同時實現(xiàn)多種元素的定性定量分析，能夠覆蓋周期表中的大部分元素

● C，N，O，Li，Be，B等元素的測定，XRF的短板

● 表面的微區(qū)分析 100微米以下的空間分辨能力精細的厚度分析